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Kimura® K13X

Familia genérica: Elastomer, Specialty • Suministrado por: Precision Polymer Engineering Ltd.
A dark brown high performance polymer containing a unique self- reinforcing polymer structure, developed specifically for critical semiconductor applications. The high purity of the polymer combined with the absence of any fillers makes this polymer suitable for processes involving lower feature sizes. This material has a low coefficient of thermal expansion, low compression set and has an extremely low etch rate in aggressive plasma environments.

Key Attributes
  • Exceptionally pure - does not contain any fillers which may cause particulation problems.
  • Outstanding plasma resistance - ideal for Chlorine, Fluorine & Oxygen chemistries.
  • Exceptionally low plasma etch rate
  • Low thermal expansion
  • Retro-fits existing O-ring grooves (including FKM & FFKM grooves)
  • Low permeation
  • Low out-gassing
  • Low adhesion (reduced sticking)
  • Low friction, high strength and high modulus make K13X ideal for constant force dynamic applications.

Typical Applications
  • Dynamic seals
  • Static seals
  • Wafer-handling products
Propiedades generales

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Estado del material
Comercial: Activo
Documentos
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Technical Datasheet (English)

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Disponibilidad
Asia-Pacífico, Europa, Norteamérica
Usos
Aplicaciones eléctricas/electrónicas
Otras propiedades
Características, Aspecto, Resistencia a la tracción al 100%, Resistencia a la tracción al 100%, Tensión en el Punto de Fluencia, Resistencia a la tracción en el Punto de Fluencia, Elongación en el Punto de Ruptura, Deformación por tracción en la Ruptura, Punto de Compresión, Punto de Compresión, Dureza, Dureza Shore, Dureza según IRHD, Dureza según IRHD, Propiedades adicionales, Información adicional
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